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太陽能硅片檢測顯微鏡GP-800
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太陽能硅片檢測顯微鏡GP-800

本儀器配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、長工作距離的平場消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時配有偏光裝置,及其高像素的數碼攝像頭。本儀器配有暗場物鏡,使觀察硅片時圖像更加清晰,是檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。

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    一、用途
        GP-800硅片檢測顯微鏡是適用于對單晶硅太陽能電池檢查的顯微觀察。GP-800硅片檢測顯微鏡具有大移動范圍的移動載物臺、落射照明器、無限遠物鏡、大視野目鏡。GP-800硅片檢測顯微鏡圖像清晰、襯度好,儀器還配有偏光裝置,以及高像素的工業相機。GP-800采用暗場物鏡,使顯微觀察硅片試樣時圖像效果更加清晰,是顯微檢測太陽能電池硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的必備顯微儀器。

       GP-800硅片檢測顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測的大陽能晶體硅片檢測、位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質、殘留物成分分析。雜質包括: 顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等,會使磨片后的硅片易于發生變花、發藍、發黑等現象,使磨片不合格。顯微檢測幾乎是太陽能電池硅片生產過程中必不可少的檢測儀器之一。 

     

    二、技術標準

    標準配置

    目鏡

    大視野 WF10X(視場數Φ22mm)

     

    無限遠長工作距離平場消色差物鏡

    PL L5X/0.12    工作距離:26.1 mm

    PL L10X/0.25   工作距離:20.2 mm

    PL L40X/0.60   工作距離:3.98 mm

    PL L60X/0.70   工作距離:3.18 mm

    PL L100X/0.90  工作距離:2.2 mm  (干式)

    目鏡筒

    30?傾斜,瞳距調節范圍53~75mm. 

    調焦機構

    粗微動同軸調焦,帶鎖緊和限位裝置,微動格值:2μm.

    轉換器

    五孔(內向式滾珠內定位) 

    載物臺

    雙層機械移動式載物臺, 外形尺寸:210mmX140mm,移動范圍:63mmX50mm

    落射照明系統

    6V30W鹵素燈,亮度可調

    配置黃、藍、綠濾色片與磨砂玻璃片

    內置視場光欄、孔徑光欄、濾色片轉換裝置、推拉式檢偏器與起偏器

    透射照明系統

    阿貝聚光鏡NA.1.25可上下升降

    集光鏡中內置視場光欄

    配置藍濾色片與磨砂玻璃片

    6V30W鹵素燈、亮度可調

    防霉

    特有防霉系統

     

     

    系統組成

    電腦型(GP-800C)

    1.硅片檢測顯微鏡 2.適配鏡 3.攝像器(CCD) 4.計算機(選購) 

    數碼型(GP-800D)

    1、硅片檢測顯微鏡 2、適配鏡 3、數碼相機(選購)

    可選配件

    目鏡

    分劃目鏡10X(Φ22mm)

    物鏡

    明場物鏡 20X、50X、80X

    CCD接頭

    0.5X、1X、0.5X帶分劃尺

    攝像儀

    USB輸出:130/300/500/1000萬像素

    數碼相機接頭

    CANON(EF) NIKON(F)

    分析軟件

    二維圖像測量分析軟件

     

     

    硅片顯微鏡尺寸

    硅片顯微鏡分解圖

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